凈化技術(shù)與設備的發(fā)展趨勢
潔凈技術(shù)也稱(chēng)為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù),是二,三十來(lái)隨著(zhù)技術(shù)發(fā)展起來(lái)的一新興科學(xué)技術(shù)。
潔凈技術(shù)專(zhuān)門(mén)研究并提供潔凈的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過(guò)程中使用的各種高純介質(zhì),有效地控制微量雜質(zhì),以保證高科技產(chǎn)品的成品率和可靠性。通常包括:空氣凈化技術(shù)、空調技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜質(zhì)控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的監測技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境質(zhì)量的控制技術(shù)。
凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車(chē)制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應用。
對于半導體設備來(lái)講,
凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著(zhù)非常重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路,而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設備提出了嚴格的要求。我國在“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。
凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國家和地區科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標志。
隨著(zhù)我國生活水平提高,人們對環(huán)境和生活質(zhì)量要求越來(lái)越高,用水純化設備制備的高純水已受到人們普遍歡迎,
凈化工程技術(shù)已開(kāi)始進(jìn)入千家萬(wàn)戶(hù),進(jìn)入人們的現代生活。
我國的
潔凈技術(shù)和設備與國外先進(jìn)國家相比差距是明顯的,我國1965年才開(kāi)始生產(chǎn)的HEPA過(guò)濾器,比國外晚了十五年。1975年開(kāi)始生產(chǎn)的光散射塵埃粒子計數器比國外晚了二十年。0.1微米
潔凈技術(shù)和設備在國際上先進(jìn)國家已成為成熟技術(shù),我國則剛剛起步。
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