平面由工藝決定，電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的改造和擴大生產(chǎn)的需求。

主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內墻承重體系。

大型電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構造。

應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求，設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。

電子無(wú)塵車(chē)間按二級耐火等級設計。

特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與無(wú)塵車(chē)間（區）分開(kāi)，耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶區至少三面是敞開(kāi)的，氣瓶與周?chē)鷺嬛锘驀鷻谥g的距離應大于3M，儲存設置的雨蓬應不低于3.5M。

電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

電子無(wú)塵車(chē)間允許設空氣吹淋室，這是和一般生物無(wú)塵車(chē)間不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數為30人一間設計，當工作人員超過(guò)5人時(shí)，應設旁門(mén)，當人數太多或為了縮短時(shí)間，也可設隧道式吹淋室。

對于高級別無(wú)塵車(chē)間，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠燈具。

電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間常要根據生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。

電子無(wú)塵車(chē)間有對防微振的要求，在廠(chǎng)地環(huán)境上應避開(kāi)振動(dòng)源。

電子無(wú)塵車(chē)間除有一般給排水要求外，對超大規格集成電路的用水也有標準。